分子式：C₄F₆
分子量：162
CAS 號(hào)：685-63-2

性 狀： 易燃、有毒、無(wú)色、無(wú)味的剛瓶裝液化壓縮氣體，吸入有害，與空氣混合后，濃度達(dá)到7%時(shí)，有立即燃燒和爆炸危險(xiǎn)
用 途： 半導(dǎo)體的等離子蝕刻，優(yōu)良的干蝕刻氣體。含氟橡膠、合成含氟彈性體和電性能優(yōu)良的樹(shù)脂
貯 存： 貯存在陰涼通風(fēng)處，容器保持密閉。貯存在原容器中的溫度不超過(guò)50℃。避免陽(yáng)光直射。注意不要與氧化劑一起混貯。遠(yuǎn)離煙火。
運(yùn) 輸： 按照壓縮氣體和液化氣體有毒氣體標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)輸
包 裝： 10L或47L鋼瓶壓縮包裝， 或依客戶要求包裝